二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9261888 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS是一款先进的蚀刻器/asher，提供高通量、经验证的长期性能和优越的工艺产量。该设备采用自动化系统体系结构,允许用户快速切换蚀刻和灰化过程,从而扩展设备的功能。采用多腔室设计,该机器能够同时运行蚀刻和灰化过程,从而为用户的生产线提供最大的利用率和灵活性。TEL Trias具有出色的蚀刻速率均匀性,允许用户以有限的批量和较高的蚀刻速率进行细线方面的蚀刻,以及均匀的纹理对齐。自动腔室开关技术允许用户执行小至一秒的循环时间，使工具更加高效。资产还根据复杂的设计准则优化生产过程,从而提高产品质量和可靠性。该模型采用高精度、直接驱动的机器人平台和先进的输入/输出控制设备构建，允许用户以高精度编程复杂的模式。直驱机器人平台测得的蚀刻速率极其精确，降低了线路设计误差幅度。此外，系统还配备了PPF（Process Parameter File）功能，允许用户在从一个腔室移动到另一个腔室时复制过程参数。该装置设计坚固可靠，具有具有反馈回路、最小调节脉冲时间、高效动力驱动和先进慢跑系统的运动控制机。用户还可以根据自己的生产要求定制运行时间。此外,该工具还配备了高级SPC（统计过程控制）和优化功能,以进一步确保产品质量和过程效率。TOKYO ELECTRON TRIAS非常适合精密蚀刻和等离子体灰化等应用。凭借其先进的功能、强大的结构和易用性,Trias帮助用户通过提高工艺产量和提高产品质量来实现所需的产品。