二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9273449 待售
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ID: 9273449
晶圆大小: 12"
System, 12"
(8) Chambers
Front end
Wafer transfer module
Electrical cabinet.
TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一款业界领先、高品质、精密蚀刻/灰化设备。其卓越的设计使其成为技术最先进的蚀刻器之一,并且能够为各种应用持续生产高精度零件。TEL Trias被设计为使用一系列蚀刻和灰化技术,包括干蚀刻、反应性离子蚀刻(RIE)、溅射蚀刻和激光烧蚀灰化。它提供了大量的多功能性,使其能够用于各种应用,从薄膜沉积和蚀刻工艺到标记和STI(浅层海沟隔离)应用。此外,系统还配备了最先进的控制和精密特性。用户友好的编程界面允许精确且可重复的蚀刻/灰化过程。自动监控单元有助于确保每次结果一致,智能自动协调功能也有助于复制蚀刻模板以确保一致性。TOKYO ELECTRON TRIAS还具有高精度的三级涂覆卡盘机,允许卓越的蚀刻和灰度精度。此卡盘工具可用于执行多个蚀刻和灰化操作,或使用可伸缩或可调节的支撑销。这允许用户使用各种复杂的蚀刻和ashing任务来执行Trias。最后,TEL/TOKYO ELECTRON Trias被设计为紧凑而灵活。它的占用空间小,有助于降低成本,并能够根据需要快速重新配置,这意味着它可以用于各种任务。总而言之,TEL Trias是一项出色的蚀刻/灰化资产,能够一次又一次地产生精确的结果。它设计多种多样,非常适合各种专业生产应用,而其控制和精确功能有助于确保可靠性和一致性。
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