二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9284866 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是由领先的半导体设备供应商TEL制造的蚀刻器。TEL Trias是一种中型蚀刻器，设计用于半导体器件制造过程中的蚀刻临界层。它体积小，非常适合在生产线上使用，而其先进的特性，如高吞吐量，使其适合高精度蚀刻工艺。TOKYO ELECTRON TRIAS能够生产具有小长度特性的蚀刻，具有广泛的蚀刻和加工能力，使其适合于高级半导体器件制造等高端应用。蚀刻器提供各种蚀刻技术，如各向同性干蚀刻、反应离子蚀刻（RIE）和湿蚀刻。Trias可以进行配置和量身定制，以处理一系列不同的膜，从薄的电介质到硅的超薄层。此外，TEL/TOKYO ELECTRON Trias包括多种技术，如多方法过程自动化和边缘轮廓优化接口（EPOI），使蚀刻器能够根据特定蚀刻过程进行最佳调整。TEL Trias配备了精密测量系统，使其能够精确测量蚀刻速率、均匀性、掺杂轮廓等工艺参数。这些系统还使TOKYO ELECTRON Trias能够保持过程的一致性和稳定性。该蚀刻器还具有安全特性，如火灾和气体探测以及超压传感器，以确保生产环境的安全。Trias还配备了多项高级功能，例如能够选择多个蚀刻过程、后续过程控制、配方生成和自动过程优化。这些功能使用户可以快速定制配方，创建复杂的蚀刻图样，进一步提高整个蚀刻过程的效率和生产率。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON Trias是中型生产线的理想蚀刻器。它的特点和能力使其适合关键蚀刻工艺，并且能够针对不同的工艺进行量身定制，结合其测量和安全系统，使其成为合适的设备齐全的蚀刻高精度半导体器件系统。