二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9290896 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一款用途广泛、速度快、价格经济的蚀刻器/asher，专为工业和学术研发应用而设计。它能够安全地蚀刻、沉积和蚀刻来自广泛基材的各种薄膜材料。TEL Trias具有直观的触摸屏界面,可实现简单高效的操作。可容纳直径不超过12英寸、厚度不超过0.5英寸的基材。密封室内部通过铰链门进入，方便控制工艺参数。蚀刻过程由频率范围为10至50 kHz的超高频发电机驱动。通过可调电源实现蚀刻功率的精确控制，从而优化蚀刻工艺参数。TOKYO ELECTRON TRIAS还具有一系列高科技选项，包括金属沉积控制的恒流偏置电源、允许高密度薄膜沉积的高能气体分销商，以及提高蚀刻均匀性的高压脱压系统。精密气流控制器可精确控制所有薄膜的蚀刻速率和蚀刻选择性。所有流程的参数都可以预先编程以简化操作。Trias旨在确保安全、合规和环境保护。TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS是一款易于使用且可靠的蚀刻器/asher，能够满足最苛刻的研发应用的要求。其用户友好的界面使得它成为那些在科学和工程行业工作的人的一个有吸引力的选择。