二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9294403 待售

ID: 9294403
Metal CVD system, 12" Process: Copper barrier seed 2012 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS是一种高度可靠的蚀刻/asher设备,提供多种材料的单孔或多孔图桉。它采用高级功能进行设计,使用户能够轻松地、精确地将图样蚀刻到各种材料中,例如半导体、多层薄膜和镀金。TEL Trias系统的有效性是由几个关键特性组合而成的,如高烧蚀率、短蚀刻时间和适应具有挑战性的蚀刻参数。TOKYO ELECTRON Trias的高烧蚀速率使得将鳍线、接触孔、沟槽等小图样蚀刻成材料的精度非常高成为可能。该单元由定位机、激光源和光束输送工具组成,所有这些工具协同工作,快速准确地进行蚀刻。该资产还使用户能够调整诸如脉冲能量、光束大小和蚀刻速度等参数,以实现所需的蚀刻结果。Trias的短蚀刻时间是由于其高效率的烧蚀速率,以及对具有复杂几何形状的材料进行加工的能力。该模型具有多种蚀刻模式,包括多掩蔽,允许用户在单个过程中在一批材料上蚀刻多种图桉。这在设计复杂的集成电路时特别有用,因为它消除了对多种蚀刻过程的需求,从而节省了时间和金钱。此外,TEL/TOKYO ELECTRON Trias可用于蚀刻具有挑战性的材料,如铜、硅和镀金基板。它能够通过使用专门的蚀刻化学和激光源来实现这一点,而激光源可以精确地调节激光束的能量和脉冲宽度。这使用户能够有效地蚀刻可能需要多个蚀刻过程的不同材料。综上所述,TEL Trias是一款高度可靠的蚀刻器/asher设备,具有先进的功能,用户可以轻松地将精确的图样蚀刻到各种材料中。它具有较高的烧蚀速率、较短的蚀刻时间以及具有挑战性的材料蚀刻能力,是任何蚀刻应用的绝佳选择。
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