二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9294442 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一款业界领先的用于半导体制造的蚀刻器/asher。这种蚀刻器具有加工各种材料的能力，包括硅、铜、钨、钛等。它采用两种截然不同的工艺，一种是将材料沉积在基板上，另一种是将材料从基板上蚀刻出来，形成分辨率高达70纳米的图样特征。这使得它成为当今半导体生产中使用的先进技术节点的理想选择。TEL Trias是一种半自动工具,具有高效、精确的数字控制功能。凭借其获得专利的半导体技术，可以在蚀刻和灰化特征时达到高度的重复性和准确性。该工具结合了一些功能和附件，可提高自动化和定制程度，包括嵌入式预校准程序和网络连接选项。它还具有模块化的设计和灵活的工艺室，使其成为一种可以很容易地适应不同用户需求的工具。TOKYO ELECTRON Trias还具有直观的图形用户界面（GUI），允许用户快速设置不同的处理参数和监控工具性能。它利用嵌入式原子力显微镜（AFM）技术，对纳米图样成像结果进行高分辨率成像。最后,它与多个业界领先的软件包（包括CAD/CAM、EDA和PDK软件）集成,并直接支持GDSII/OASIS格式文件。总之，Trias是一个先进和多才多艺的蚀刻师/asher。它高效的数字控制、模块化设计、直观的GUI和多种集成功能,使其成为半导体制造过程中生产小而复杂的阵列的绝佳选择。它的高端特性和功能允许用户在灰化和蚀刻过程中具有极大的灵活性和控制能力,从而实现了高精度和可重复性。