二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9311187 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS是为先进的微加工和纳米加工应用而设计的最先进的蚀刻或灰化设备。该系统能够在单个平台中提供灵活的蚀刻化学选项以及精确的过程控制。其独特的双腔室设计，使得各种晶圆尺寸的基材和蚀刻化学精确的过程控制。上腔容纳蚀刻工艺化学物质，下腔容纳冷却器和气体推进器以调节加工参数。该单元提供精确的蚀刻参数控制，确保蚀刻结果在基材区域可重复均匀性。TEL Trias支持多种蚀刻化学，如干灰、湿近溢出蚀刻（NOS）、湿化学蚀刻以及等离子体蚀刻。这些蚀刻化学方法允许不同种类的材料在单个机器中进行完全兼容的蚀刻。TOKYO ELECTRON TRIAS也被设计为人性化，具有自动化的过程配方生成器，以及实时的过程监控。Trias还提供了先进的节省时间的技术,例如负载锁定自动装载机,它减少了晶圆加载时间,并消除了人工传输造成的污染。此外，机器还设计了多行加载工具，允许一次加载多个晶片，从而加快了蚀刻过程。这台机器还能储存多达1000份食谱，容易重复批次。TEL/TOKYO ELECTRON Trias还提供高级工艺控制功能,这对于高级蚀刻/灰化应用至关重要。该资产具有温度、压力和气体控制系统，允许精确的参数调整，增加蚀刻/灰分均匀性和可重复性。该模型还具有晶片级超精度运动和精确时间控制的特点。TEL Trias还提供远程故障诊断功能,使技术人员和工程师能够快速识别故障并采取纠正措施。该机还被评为洁净室环境安全，适合洁净室使用。此外,它的多语言界面和全面的用户手册使其易于操作和维护。TOKYO ELECTRON TRIAS是一款高度先进的设备，旨在满足先进的微加工和纳米加工应用的需求。它提供灵活的蚀刻化学、精确的过程控制和节省时间的功能以及可靠的故障诊断。凭借其用户友好的特点和全面的控制能力，这种蚀刻/灰化系统是高级研发操作的理想选择。