二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9311193 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一种蚀刻器/asher，用于微加工过程。其目的是从表面去除材料的薄膜。蚀刻用于通过以受控方式去除原子和分子来塑造材料的表面。来自TEL的TEL Trias是一款功能强大的蚀刻器/asher,提供卓越的性能和高蚀刻率容量。它是一种多用途蚀刻器/去除器，包含了广泛的材料，包括金属、半导体、绝缘体、抗蚀剂和聚合物。TOKYO ELECTRON TRIAS由真空室、气体分配设备、计算机控制系统、等离子发生器和电极加热器组成。等离子体发生器在腔内产生等离子体场，是蚀刻过程的能量来源。然后通过调整气流、压力、气温、电极加热等参数来控制蚀刻过程。Trias的Electroformed Nickel （ENI） chamber能够处理各种材料,具有极好的可重复性和精确的控制。零点环密封进一步加强了加工隔室，增加了装置的稳定性和加工时间。TEL/TOKYO ELECTRON Trias拥有高度精密的电脑控制机器，为使用者提供对蚀刻过程的最大控制。其数据控制工具记录、存储和控制与流程相关的所有参数,还可以存储多达1 GB的流程配方,这些配方可以通过USB轻松传输。TEL Trias可以处理广泛的基材，如玻璃、薄膜、光电等精密蚀刻。TOKYO ELECTRON Trias凭借其低功耗、高速蚀刻、优越品质的终端产品，非常适合半导体、视觉和工业应用。Trias对均匀性、化学和表面形态保持严格的标准，使得更清洁的蚀刻工艺能够产生最高质量的结果。其易于使用的控制资产,加上坚固的硬件平台,使其成为现有的最佳蚀刻器之一,并因其一致、高质量的工艺结果而得到进一步加强。