二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9355862 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一种用于执行蚀刻或灰化过程的蚀刻器/灰化器。它是一种先进的设备，旨在提供一致、高质量和高性能的晶片表面处理。它是一个高度通用和可靠的系统，可用于各种蚀刻和灰化应用。该单元基于三阶段设计概念TEL Trias-它提供了三种不同类型的蚀刻/灰化过程：基于等离子体的蚀刻、LPCVD蚀刻和群集蚀刻。获得专利的TOKYO ELECTRON Trias设计缩短了每个蚀刻/灰化过程的持续时间,并且由于它采用了三阶段设计,因此可以显着减少给定过程所需的不同蚀刻/灰化工具的数量。基于等离子体的蚀刻阶段为蚀刻类型的过程提供了一个高性能的过程，允许严格控制和均匀地蚀刻结果。LPCVD蚀刻阶段建立在热诱导的方法之上，提高了工艺的可重复性。群集蚀刻阶段为提供可靠的蚀刻/灰烬工艺提供了一种真正独特而有效的方法。其专利设计采用多种气相蚀刻/灰分工艺，为各种基材提供均匀、精确的蚀刻和灰分。Trias机器是高级和复杂应用程序的理想蚀刻器/asher。它提供卓越的性能、可靠的重复性和统一的结果。此外，它还可用于各种应用，从浅层沟槽隔离（STI）到内存设备的表面平面化。它是一种可靠的蚀刻器/灰化器,可用于任何蚀刻或灰化需求。