二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9357255 待售
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ID: 9357255
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
CVD System, 12"
Process: BL GL TiN Dep
BROOKS AUTOMATİON TLG-LON Load port, (3) FOUPs
SHINKO SELOP12F25-30A-13
SHINKO SBX92101286-3 FI Robot
FUJI M-UPS050J22L-UL UPS
SANEI GIKEN TL7KCPVB-2P Chiller
Mainframe:
YASKAWA XU-RVM4100 Buffer robot
V TEX I-I-98009-2-1 LLM1.2 Gate valve
KITZ DOUBLE ACTION Chamber gate valve
Process chambers: PM1, PM2, PM3, PM4
Single wafer chamber
With stage heater
RKC INSTRUMENT INC Module heater controller
TMC2001 Module heater controller
Cubic trap
VERIFLO SQ-MICRO-602PUPGPA Regulator
LEYBOLD TSR211S Pirani sensor
INFICON VSA100A Pressure sensor
MKS 626A01TDE Capacitance manometer
LEYBOLD CDG160A-S 1330PA Capacitance manometer
LEYBOLD CDG160A-S 133PA Capacitance manometer
STEC VC131004ST20 Vaporizer
Gases:
Gas / Make / Model / Valve
MFC2 / ClF3 / SAM / SFC1470FA / 500 SCCM
MFC3 / N2 / SAM / SFC1480FAPD / 0.6/2 SLM
MFC5 / NH3 / SAM / SFC1481FA / 5 SLM
MFC6 / NH3 / SAM / SFC1480FAPD / 300 SCCM
MFC7 / N2 / SAM / SFC1480FAPD / 0.6/2 SLM
MFC8 / NH3 / SAM / SFC1480A / 1 SLM
MFM / TiCl4 / STEC / SEF-8240 / 100 SCCM
MPD
Transformer box
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一款蚀刻/灰烬型表面加工机，设计用于多种材料加工行业。TEL Trias系列机器是专门为半导体基板的蚀刻和灰化而设计的。它们经过专门设计,可提供一致的处理结果,满足各种客户应用的要求,包括细间距电路蚀刻/灰分、超屏障蚀刻/灰分、接触金属蚀刻/灰分和沟槽蚀刻/灰分等。TOKYO ELECTRON TRIAS系列设计用于Ar和CF4供气系统,允许用户根据其特定的应用要求定制结果。它采用模块化设计,用户可以轻松升级或定制设备组件,以适应不断增加的容量和功能。此外,系统可以配置为手动或自动处理基板。Trias的核心是一个高频感应耦合等离子体（ICP）源，其设计目的是确保最精确和最具成本效益的蚀刻和灰化操作。ICP源是可调的，允许用户根据基板材料和正在执行的蚀刻/灰化操作来调整电压、电流和谐振频率。这种可调的ICP源允许更精确的处理，以及在大面积上更统一的蚀刻和灰化。TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS单元利用车载真空布线机，确保卓越的吞吐量能力和均匀的蚀刻和灰化。这种真空布线工具也保证了气体均匀流入ICP源。动态温度控制功能还有助于提供可重复的蚀刻和灰化结果,同时优化气体消耗。此外,TEL Trias旨在提供高效的热管理资产,帮助维护基板的表面温度,确保对蚀刻和灰化过程的精确控制。TOKYO ELECTRON TRIAS系列还包括晶圆传输、晶圆个体冷却通道、过程监控系统和远程监控功能等多种有用功能。这允许用户实时查看和监视处理条件,从而确保一致的结果和有限的停机时间。总体而言,Trias系列蚀刻/灰烬是各种材料加工行业的理想选择。可调ICP源、车载真空路由模型和动态温度控制功能确保用户获得符合其应用需求的精确、可重复的蚀刻和灰化结果。TEL/TOKYO ELECTRON Trias系列具有多种功能,是蚀刻/灰化操作的绝佳选择。
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