二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9357277 待售
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ID: 9357277
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
CVD System, 12"
Process: BL GL TiN Dep
BROOKS AUTOMATİON TLG-LON Load port, (3) FOUPs
SHINKO SELOP12F25-30A-13
SHINKO SBX92101286-3 FI Robot
FUJI M-UPS050J22L-UL UPS
SANEI GIKEN TL7KCPVB-2P Chiller
MPD
Transformer box
Mainframe:
YASKAWA XU-RVM4100 Buffer robot
V TEX I-I-98009-2-1 LLM1.2 Gate valve
KITZ DOUBLE ACTION Chamber gate valve
Process chambers: PM1, PM2, PM3, PM4
Single wafer chamber
With stage heater
RKC INSTRUMENT INC Module heater controller
TEL TMC2001 Module heater controller
Cubic trap
VERIFLO SQ-MICRO-602PUPGPA Regulator
LEYBOLD TSR211S Pirani sensor
INFICON VSA100A Pressure Sensor
MKS 626A01TDE Capacitance manometer
LEYBOLD CDG160A-S 1330PA Capacitance manometer (1333Pa)
LEYBOLD CDG160A-S 133PA Capacitance manometer (133KPa)
STEC VC131004ST20 Vaporizer (TiCL4)
Gases:
Gas / Make / Model / Valve
MFC2 / ClF3 / SAM / SFC1470FA / 500 SCCM
MFC3 / N2 / SAM / SFC1480FAPD / 0.6/2 SLM
MFC5 / NH3 / SAM / SFC1481FA / 5 SLM
MFC6 / NH3 / SAM / SFC1480FAPD / 300 SCCM
MFC7 / N2 / SAM / SFC1480FAPD / 0.6/2 SLM
MFC8 / NH3 / SAM / SFC1480A / 1 SLM
MFM / TiCl4 / STEC / SEF-8240 / 100 SCCM
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一款为复杂和先进的微加工应用而设计的蚀刻/asher设备。具有高吞吐量、高工艺控制的经济高效生产能力。该系统融合了三轴级用于精确晶圆对准、自动映射单元以确保均匀蚀刻等功能。该机器能够处理6"至12"的晶圆尺寸。它还可以估计每个应用程序的蚀刻时间，因此用户可以最大化生产吞吐量。它使用感应耦合等离子体源在整个晶片区域提供均匀蚀刻。TEL Trias工具具有先进的腔室设计以减少污染。它包括一个高性能的圆柱泵和一个大容量的储物箱，以减少排气时间。盒子里还装有动态净化资产，以确保可靠的蚀刻条件。该模型是过程自动化的,以确保生产效率和质量。提供自动聚焦系统和自动映射,以加快流程设置和完成时间。集成蚀刻室设计为在整个过程中均匀性和可重复性。设备中还包含一整套流程监控功能。这包括工艺参数的多通道实时监控、泄漏检测、压力平衡监控、晶圆对准等工艺参数。每个应用程序的所有参数都是可调的。该系统还具有一个联机帮助功能,其中包含有关设置、操作和故障排除的全面信息数据库。提供错误报告和警报,以帮助用户快速识别和解决与流程相关的问题。最后，该装置有几个安全功能，旨在确保操作人员在蚀刻过程中的安全和可靠性。其中包括正压隔离机、射频泄漏检测器、排气控制工具和其他安全功能。
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