二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9362299 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是用于高端半导体和MEMS制造的下一代蚀刻/灰烬平台。它是一种能够在晶圆规模的各种材料上蚀刻/灰分的自动化设备。该系统套件围绕着完善的TEL Trias平台构建，该平台被领先的制造设施用来生产先进的设备和组件。TOKYO ELECTRON TRIAS能够对多种材料进行蚀刻/灰化处理，包括硅片、石英、低k电介质、铜、钨等。它利用Trias过程控制和腔室过程优化系统进行精确的过程控制和各种反应堆配置。所有这些特性都允许无创的低温蚀刻/灰分，产量高。TEL/TOKYO ELECTRON Trias配备了高度安全、超快速的以太网端口，使用户能够与局域网或云存储和传输过程文件接口。该平台还具有高级端点控制状态监视功能,可用于监视设备事件、产品完成、腔室温度/压力以及工具的总运行时间。TEL Trias凭借其高精度组件和专利技术,对小型功能进行精确蚀刻/灰化,提供卓越的性能。它为用户提供了先进设备的高级生产所需的高可重复性、生产吞吐量和生产率。该工具还具有改进的过程控制机器，能够监控用户输入和各种工具的输入，使用户更容易监控过程参数。最后,TOKYO ELECTRON Trias是一种易于使用的工具,它允许用户利用云计算解决方桉来提高安全性和质量。这些功能有助于缩短停机时间,并使用户能够最大限度地提高生产吞吐量和产量。此下一代蚀刻/灰烬平台的设计旨在提供强大、可靠的性能,并满足当今先进半导体和MEMS制造商的要求。