二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9378306 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一款为半导体器件制造而设计的高级蚀刻机或asher机。由全球领先的半导体设备制造商之一TEL开发的TEL Trias是为超精密加工基板材料而打造的，以创造清洁、无腐蚀的器件。TOKYO ELECTRON TRIAS配备了多种专有技术，所有这些技术共同努力，确保在不影响速度的情况下进行高精度蚀刻。其独特的气体分配设备通过将蚀刻气体均匀地分配到基板表面来优化蚀刻过程。该系统还可确保连续处理温度,从而导致附带的温度漂移。Trias还具有高度精确的定时控制单元,有助于将处理时间保持在最低水平。此外，机器还可以加工一系列材料，包括硅、绝缘子上硅（SOI）和砷化​​铵（GaAs）。TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS能够使用多种蚀刻技术，包括等离子体反应性离子蚀刻（PERI）、化学反应蚀刻（CER）和干蚀刻。每一种技术都可以使用TEL Trias内置的多参数控制机器对基板进行精确编程和定制。此工具允许对蚀刻参数进行高度微调,从而允许有一系列不同的蚀刻轮廓和特征。此外，TOKYO ELECTRON Trias的设计既坚固又高度可靠，寿命周期长。Trias提供了高通量和高精度的蚀刻工艺,非常适合用于各种半导体器件制造环境。其可靠的蚀刻工艺，加上其多种特性，使其成为生产一系列电子产品的有用工具。TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS设计环保，意味着它减少了有毒蚀刻气体的使用。它的设计也考虑到了安全性，具有许多保护功能，确保操作人员在蚀刻过程中的安全。此外,蚀刻资产是自校准,这意味着维护和校准例程最小化。最后，设计了该模型，用于快速重新加工。这种灵活性，加上其可靠的蚀刻工艺，使得TEL Trias成为半导体器件制造商的强大工具。