二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9378307 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一款设计用于现代半导体制造工艺的高性能蚀刻器/asher。TEL Trias系列蚀刻器专为高吞吐量和可靠性而设计,利用各种先进技术确保准确、快速地完成蚀刻过程的每个步骤。因此，TOKYO ELECTRON Trias已成为3 D IC封装、MEMS制造等半导体制造工艺的热门选择。Trias系列利用闭环设备来控制整个蚀刻过程。这种闭环系统利用三轴气体淋浴来实现整个基板的均匀蚀刻。然后使用PID（成比例积分导数）控制器确保在整个蚀刻过程中保持准确的基板温度。这种闭环单元由TEL/TOKYO ELECTRON Trias的自动蜡像控制机进一步补充，该机允许一次蚀刻多种底物，并有均匀的蚀刻结果。TEL Trias系列还以其变频微波线圈和先进的等离子体发生器而着称。这些组分被用来产生所有所需蚀刻气体的均匀等离子体。这使得TOKYO ELECTRON Trias可以进行一步蚀刻过程，其中具有可变气体的多个蚀刻步骤一次全部完成。Trias还拥有一个集成的气体面板，用户可以快速、轻松地更换蚀刻气体，以达到预期的效果。这意味着用户可以轻松地在蚀刻气体之间切换，同时保持蚀刻过程的稳定和连续。此外，集成气体面板还允许用户在必要时微调蚀刻过程，以产生更复杂的结果。最后，TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS蚀刻机也符合OSHA标准，这对于那些希望确保其半导体制造工艺符合安全和法律标准的人来说非常重要。因此，TEL Trias是那些希望快速、可靠地创建复杂和精确蚀刻结果的人的理想工具。