二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9390441 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一种用于蚀刻和灰化工艺的多用途解决方桉。该设备能够对各种应用范围广泛的基板进行蚀刻、灰化、清洗，如微电子器件、半导体元件、MEMS器件等材料。该系统包含一个完全自动化的模块化单元概念，包括淹没动作和控制模式。浸没作用有助于薄膜蚀刻，防止沉积超过上限，允许高度精确的蚀刻技术，而无需手动调整。控制模式便于精确蚀刻和灰化,并通过调整的温度控制来实现所需的过程。该机还具有独立的过程控制，使用了上下温度设置、曝光时间、曝光功率等多项参数。这些参数可以根据所需的结果和基板单独或全局调整。这确保了个人的便利和安全,同时仍然提供精确和可靠。此外,TEL Trias还配备了高级显示和数据处理功能,包括配方编辑功能、热历史监测和测量以及诊断功能。该工具采用特殊的两层石英管，以确保逐渐加热，从而提高蚀刻精度。它还结合了线性电动机驱动控制资产，实现了精确和可重复的步骤，以及具有高卤化物灯的独特光源，用于精确控制蚀刻功率和均匀曝光。TOKYO ELECTRON TRIAS还提供了与许多市售蚀刻剂的工艺兼容性，例如基于HF的酸、剥离器和硫醇。在此过程中，可以监测进口气体和废气的安全运行。而对于电源，该模型使用可编程直流和恒定电流源，允许在蚀刻和灰化过程中对电流和电压进行精确控制。最后,Trias设计方便维护和操作。具有先进的安全特性，符合安全标准。其模块化设计和经济高效的安装使其成为实验室和工业应用的理想选择。