二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9390444 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Trias
ID: 9390444
CVD Systems Process: TiN.
TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一款高精度等离子体蚀刻和灰化加工工具,非常适合应用于电子、汽车和航空航天等多个行业。它利用高密度的等离子体源,使极其精确和先进的蚀刻和灰化功能。此功能使蚀刻器/asher成为满足各种特殊处理需求的强大工具。TEL Trias 蚀刻器/asher具有11英寸彩色液晶触摸面板,便于编程、调整和操作。它还包含一个行业标准的高密度等离子体源,这使得高效和一致的性能。此外,它还提供了两个独立和同时的等离子体源的出色的过程控制和可重复性,可用于精确和专门的过程。此蚀刻器/asher还具有三个精确定位的高精度阶段,以实现高精度,允许处理各种曲面形状。TOKYO ELECTRON TRIAS设计了全面的互锁,以保护操作员免受潜在的辐射危害。它还可以通过提供快速、准确的操作来减少设置所花费的时间并最大限度地提高流程效率。此蚀刻器/asher还具有安全保护功能,配有接地故障中断器(GFI)以防止电击。此外,它还配备了双红外高温计,用于测量晶圆表面和加工室前部的温度。Trias为提高工艺产量提供了一个极好的系统,它具有高精度的工艺,可带来卓越的质量和性能。它还提供了额外的好处,例如以最小的浪费和卓越的可靠性实现最佳的生产效率,以及更简单的维护和更低的成本。该系统还可以与多种馈电处理器、加载系统、检测系统和其他辅助设备相结合,形成端到端的解决方桉。总体而言,TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一款高性能的蚀刻器/asher,为多个行业提供优异的效果和质量保证。这种先进的处理工具可在各种曲面上提供精确的工程设计,具有卓越的工艺控制和可重复性,可满足各种特殊需求。它还配备了几个先进的功能,如集成的监控系统和全面的安全保护,使其适合广泛的应用。
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