二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias #9399572 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Trias是一款先进的蚀刻/asher设备，由领先的工艺设备制造商TEL开发。这种高端系统是为广泛的工业蚀刻/asher应用而设计的，例如生产半导体器件和平板显示器。TEL Trias具有先进的蚀刻/灰化室和工艺室，为用户提供精确的蚀刻/灰化操作，使他们能够以无与伦比的准确性和可重复性来控制蚀刻/灰化应用。该单元配备了集成的真空机和一系列计算机控制的硬件和软件，用于监控蚀刻/灰化进度。该工具还包括自动配方输入和遵守各种国际安全法规。其独特的溷合脉冲等离子体资产，由变压器调制等离子体技术和标准等离子体技术组成，使TOKYO ELECTRON TRIAS能够发出精确控制的等离子体，持续的高蚀刻/灰化结果。与其他蚀刻/灰化系统相比,该模型将产生更高的蚀刻速率、准确性和一致性,从而产生更高的产量和更低的拒绝。此外，Trias在蚀刻/灰化工艺室内提供温度控制，温度范围在-50°C至450°C之间。这允许用户在蚀刻/灰化过程中快速高效地监视参数。而且，该设备与TOKYO ELECTRON'autoSampler'晶片卡盘及其全面的'用户界面'软件完全兼容，允许用户从一个中心位置控制蚀刻/灰化过程。此外，TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS的设计具有高度的安全和环境保护特性，例如用于提取有害物质的强大风扇和监测潜在有害物质的工艺环境的能力。该系统还附有一个交互式教学菜单，使用户可以快速配置机器的设置，并清楚地概述其过程的可重复性。总体而言,TEL Trias为在蚀刻/灰化操作中寻求最佳性能和可靠性的用户提供了高级蚀刻/灰化解决方桉。此单元非常适合半导体和平板显示器制造商,他们要求其蚀刻/灰化工艺的精度和一致性达到最高水平。