二手 TEL / TOKYO ELECTRON Triase EX-II Plus Ti/TiN #293659307 待售

TEL Triase EX-II Plus Ti/TiN 蚀刻器/asher是一款最先进的蚀刻/灰化设备,以其精确的图桉和可靠的性能而闻名。利用最新技术,系统提供高吞吐量、高吞吐量区域覆盖范围和快速蚀刻/灰化处理时间。此单元具有出色的表面体积比以及较低的拥有成本,因此非常适合各种蚀刻/灰化应用。此外,EX-II Plus Ti/TiN还包括一台集成加热机,可确保整个腔室的温度均匀,从而提高加工过程中的精度。因此,用户可以创建很少或没有表面粗糙度的精确模式。Triase EX-II Plus Ti/TiN专为各种材料而设计，其工艺配方可为每个应用程序定制。它采用高分辨率成像工具,可提供高达150 µm的光斑成像,并显着提高表面分辨率。此外,该资产还包括多电极配置,它能够创建更复杂的设计并提高蚀刻选择性,从而产生极其清晰的侧壁轮廓。在安全性方面,此模型以强大的安全管理设备为基础,为在流程中优先考虑安全性的用户提供增强的流程环境。为了尽量减少颗粒污染的影响，系统包括一个集成的晶圆排气单元。它还配备了一个集成的源气体分配机，帮助减少气体流动噪音，使用户能够在一个安静而富有成效的环境中工作。EX-II Plus Ti/TiN专为极致方便而设计,还包括一个一次写、多读（WORM）数据管理程序,用于快速备份、归档和恢复配方。此外,该工具的内置触摸屏界面允许用户从资产的前端监视和控制其流程,从而实现快速、轻松的设置和执行。总之，TOKYO ELECTRON TRIASE EX-II Plus Ti/TiN是一种先进的蚀刻/灰化模型，能够提供一致的高质量结果。该设备配备了多种功能和安全协议,使用户能够高效、准确地创建复杂的设计并满足他们的需求。