二手 TEL / TOKYO ELECTRON TSP-207H #9181874 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON TSP-207H Plasma Asher是一种高通量等离子体蚀刻工具，用于各种材料的蚀刻和灰化。蚀刻器/asher装有50mm SiH3次级基材和15mm石英晶片载体。TEL TSP-207H等离子体蚀刻工具的高功率、高压和高度可靠的ECR等离子体源提供了最佳的蚀刻性能。该设备采用可移动磁控管和高频发电机，具有出色的蚀刻均匀性、准确性和可重复性。TOKYO ELECTRON TSP-207H可以用其盒式装载机/卸载机轻松装卸。TSP-207H等离子体灰烬的ECR等离子体源产生了广泛的等离子体种类，具有高度的精确度和重复性。由于其先进的温度控制系统，其底物温度可以准确地融入沉积和蚀刻过程。Asher/etcher还配备了过程监控功能，以完全控制等离子体过程。用扫描电子显微镜（SEM）可以对蚀刻图桉和蚀刻表面进行截面观测。高级控制器能够执行不同的蚀刻过程，如蚀刻深度控制、时间和温度等。此外,它还配备了独特的、用户友好的图形用户界面（GUI）,以实现最佳的流程操作。此外，TEL/TOKYO ELECTRON TSP-207H Plasma Asher还附带远程监控技术，用于远程操作、控制和维护。TEL TSP-207H PlasmaAsher是一种针对高通量和可靠结果进行了优化的健壮单元。它被设计用来处理各种蚀刻和灰化条件，以适应广泛的加工需求，使其成为蚀刻和灰化操作的理想选择。这台机器提供了卓越的精度和可重复性，同时它的用户友好的界面确保操作方便。
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