二手 TEL / TOKYO ELECTRON TSP-304 #9355302 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TSP-304 蚀刻器/asher是一种高度先进的半导体加工仪器，设计用于进行干蚀刻操作。利用等离子体技术，能够以超高精度和精确度沉积和蚀刻各种材料。它具有五个主腔室的多腔室设置，每个主腔室在蚀刻过程中都有自己的特定用途。这包括主室、馈线室、反作用室、射频室和后灰室。主室容纳样品储存器，并保持在精心控制的气氛中，以确保从晶圆到晶圆的均匀一致的蚀刻结果。该腔室与负责将蚀刻剂和基板引入主腔室的馈线腔室相连。反应室是等离子体存在的地方，同时配有磁场和电场来控制等离子体密度。此字段使操作员能够调整蚀刻速率和蚀刻选择性以适应特定材料。射频室与其他室电隔离，充当产生等离子体的高功率源。这种射频室也可用于顺序蚀刻操作，允许制作具有出色角圆的精细图桉。最后，后蚀刻室是晶片处理的地方，以确保它们没有任何腐蚀行为。为了进一步提高性能,TEL TSP-304配备了多种安全和诊断功能。它还带有一个全面的图形用户界面，使操作员能够轻松监控和控制蚀刻过程。总而言之，TOKYO ELECTRON TSP-304是一种先进的蚀刻器/asher，能够产生高度精确和线条定义的特征，具有极好的重复性。