二手 TEL / TOKYO ELECTRON TSP-304 #9355303 待售

TEL / TOKYO ELECTRON TSP-304
ID: 9355303
晶圆大小: 12"
Dielectric etcher, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON TSP-304是业界领先的蚀刻器或灰化器,专为最苛刻的湿蚀刻和剥离应用而设计。TEL TSP-304采用大型、稳定的湿式板凳设计,于2003年作为半自动蚀刻机首次推出。TOKYO ELECTRON TSP-304具有令人印象深刻的36 "x 36"(914 mm x 914 mm)顶部工作表面,最多可容纳4桶溶液。蚀刻器的核心是安装在控制面板上的过程自动化控制器,它控制所有的蚀刻器功能,如溶液搅拌、温度、定时以及各种其他过程控制参数。该面板还管理一系列安全功能,例如故障诊断和用户定义的紧急停机。TSP-304为各种蚀刻工艺提供了通用的可编程门控制,包括氧化、扩散、化学气相沉积等等。TEL/TOKYO ELECTRON TSP-304配备常规的15厘米x 20厘米小晶圆石英船,并能容纳最多两艘更大的石英船,是生产太阳能电池、MEM和平板显示器蚀刻的理想选择。它有一个内置的排水方便维护,包括快速更换多品脱蚀刻电阻。TEL TSP-304的设计考虑到了方便和安全。利用升级的安全支架,蚀刻器的设计目的是保护用户免受有害物质飞溅的侵蚀-不会泄漏、泄漏或交叉污染。维护也很容易;TOKYO ELECTRON TSP-304的人体工程学设计允许以最小的努力轻松清洁和维护。这些功能使TSP-304成为蚀刻应用程序的理想选择。TEL/TOKYO ELECTRON TSP-304具有高度可靠的湿蚀刻和用户友好的平台,是小型和大型生产环境的完美解决方桉。其最先进的控制系统,加上较大的顶层工作区域,使得TEL TSP-304成为生产和研究的完美蚀刻解决方桉。
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