二手 TEL / TOKYO ELECTRON TSP-305 SCCM TE #9366004 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TSP-305 SCCM TE是一种蚀刻器或asher，设计用于各种半导体器件制造工艺中基板的受控蚀刻。该蚀刻器能够一次蚀刻和处理多达七个晶片，并支持手动和自动加载和卸载晶片，以实现最大效率。蚀刻器设计有一个单室，可以在其中存储和访问处理请求、处理参数和配方数据。该蚀刻器配备精密、多模等离子体源，提供卓越的基板蚀刻、均匀性和工艺重复性。TEL TSP-305 SCCM TE蚀刻器具有扩散泵，每分钟可提供高达2400升的高效抽水。这使得蚀刻器能够更快速可靠地执行大型蚀刻作业，也有助于降低处理成本。还包括先进的工艺室温度控制系统，以确保均匀的温度，即使在较长的加工时间，以保持高水平的基板蚀刻均匀性。蚀刻器还具有自动过程控制系统，旨在保持高度一致的蚀刻过程。蚀刻器能够根据需要通过调整气体流量、压力和电极功率来自动控制蚀刻过程。此蚀刻控制系统减少了与保持高度一致的蚀刻过程相关的时间、人工和气体成本。TOKYO ELECTRON TSP-305 SCCM TE蚀刻机利用多级射频发生器直接进行射频衬底蚀刻。射频发生器能够在三个不同的公共频率下运行，从而实现最大的工艺灵活性。射频发电机配有高性能伺服电机和直接驱动轴电机，提供优越的基板蚀刻。此外,蚀刻器还支持复杂的晶片U/V编码、基板识别和缺陷修复操作。总体而言,TSP-305 SCCM TE蚀刻器是一种卓越的蚀刻解决方桉,可提供可靠且可重复的蚀刻性能。蚀刻器可以处理广泛的蚀刻操作，包括蚀刻、化学气相沉积和自旋涂层。它具有扩散泵、自动化过程控制和多级射频发生器，所有这些都使TEL/TOKYO ELECTRON TSP-305 SCCM TE蚀刻器成为控制和高度一致的蚀刻过程的绝佳选择。