二手 TEL / TOKYO ELECTRON TSP-305555SSSS #293767161 待售
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ID: 293767161
优质的: 2007
Etcher
Process: Oxide
(5) Loadports
iH160 Pumps:
Chamber position / Gases
Unit 1 / N2, C4F8, Ar, O2, CH2F2, CHF3, CF4, C4F6
Unit 2 / N2, C4F8, Ar, O2, CH2F2, CHF3, CF4, C4F6
Unit 3 / N2, C4F8, Ar, O2, CH2F2, CHF3, CF4, C4F6
Unit 4 / N2, C4F8, Ar, O2, CH2F2, CHF3, CF4, C4F6
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TSP-305555SSSS是为精确可靠的半导体器件制造工艺而设计的先进蚀刻/asher设备。由领先的半导体生产设备供应商TEL Limited （TOKYO ELECTRON）开发的TEL TSP-305555SSSS集成了尖端技术,以实现对半导体行业至关重要的高性能蚀刻和灰化工艺。TOKYO ELECTRON TSP-305555SSSS的核心是其先进的等离子体蚀刻技术，它允许对半导体晶片上的材料去除进行微调控制。该系统配备了最先进的射频（RF）等离子体源，产生高反应性等离子体物种，以有效蚀刻选择性和均匀性高的各种材料。这种能力对于创建具有亚微米精度的复杂半导体器件结构至关重要。此外,TSP-305555SSSS还具有支持蚀刻和灰化应用的多功能工艺室设计。该装置可以配置不同的气体化学和工艺参数，以适应广泛的材料组成和装置设计。这种灵活性使半导体制造商能够针对各种设备制造需求优化工艺性能和产量。除了先进的蚀刻能力外，TEL/TOKYO ELECTRON TSP-305555SSSS还配备了精密的工艺监控功能，以确保一致和可重现的结果。该机集成了实时过程监测传感器，如光发射光谱（OES）和质谱，在处理过程中跟踪等离子体参数和端点检测。这些监控工具可实现精确的过程控制和端点检测,使操作员能够实现所需的蚀刻速率和端点精度。此外,TEL TSP-305555SSSS还包含自动化和软件控制功能,以简化操作并提高生产效率。该工具配备了一个用户友好的界面，便于配方管理、参数调整和数据分析以进行流程优化。高级软件算法支持预测性维护计划和远程监视功能,以提高资产可靠性和正常运行时间。TOKYO ELECTRON TSP-305555SSSS旨在满足半导体制造环境的严格要求,包括洁净室兼容性、安全特性和环境合规性。该模型采用优质材料和组件构建,以确保在要求苛刻的操作条件下的长期耐用性和性能稳定性。此外,TSP-305555SSSS符合安全、电磁兼容性（EMC）和环境法规的行业标准,以支持可持续的制造实践。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON TSP-305555SSSS代表了为高精度半导体加工应用量身定制的尖端蚀刻器/asher设备。凭借先进的等离子体技术、多用途的工艺能力和强大的设计,TEL TSP-305555SSSS为半导体制造商提供了在当今竞争激烈的半导体行业中实现卓越的设备性能和产量的可靠解决方桉。
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