二手 TEL / TOKYO ELECTRON TSP-30555SSS #293765913 待售
网址复制成功！
单击可缩放
TEL/TOKYO ELECTRON TSP-30555SSS是一种利用更高功率的等离子体、更高的速度和卓越的温度控制来实现高速、高质量蚀刻和灰化的蚀刻器/灰化器。TEL TSP-30555SSS由RIE（反应性离子蚀刻）室、等离子体源、排气设备和远程等离子体源组成，包括MFC（质量流控制器）。先进的内部法拉第-凯奇结构，可以进行高质量的等离子体处理，以及高蚀刻速率、提高蚀刻精度、在整个表面积上均匀蚀刻。这种蚀刻器设计用于多种底物，包括聚合物和金属。高速蚀刻过程由功率更高的等离子体源、改进的温度控制器和先进的自动化控制系统实现。等离子体源能够产生高达1000瓦的功率，能够提供出色的蚀刻和灰化能力。改进的温度控制器可确保每个蚀刻和灰化过程的最佳和一致温度,从而实现均匀且可重复的结果。TOKYO ELECTRON TSP-30555SSS还包括一个远程等离子体源，以确保整个基板表面积的均匀结果。这个控制单元由一个计算机程序管理，这样每一个蚀刻/灰烬过程都可以针对每一个单独的应用进行精细的调整。内置的MFC（质量流控制器）可用于精确控制回流速率、氧平衡和等离子体腔外压。此外，排气机有效地排出蚀刻过程产生的任何毒化和磨损，确保安全操作和清洁的工作环境。TSP-30555SSS蚀刻器能够为各种蚀刻/灰分工艺提供卓越的性能。功能包括功率更高的等离子体、改进的温度控制器和远程等离子体源,以及自动控制工具和MFC,允许在整个表面积上实现高蚀刻和灰化速度、高质量的结果以及均匀的蚀刻。这种蚀刻器非常适合实际应用和研究应用，使科学家和技术人员都能利用这种先进蚀刻/灰化技术的许多好处。
还没有评论