二手 TEL / TOKYO ELECTRON TSP-30555SSS #293809043 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TSP-30555SSS是一种具有高级功能的蚀刻器/asher,用于在各种基板上创建高质量的图像和图样。它采用干蚀刻和湿加工相结合的方式，在硅、石英、金属等各种材料上制作复杂的蚀刻。该设备有五个特征鲜明的工具室，采用RIE（反应性离子蚀刻）工艺，其中等离子体离子与材料表面发生化学反应，以去除预定层。由于其RIE工艺配置,TEL TSP-30555SSS具有高度统一的蚀刻配置文件。气体分布可以很容易地修改，以便产生一系列蚀刻剖面，如各向同性、各向异性、深度渗透和浅层蚀刻。气流控制系统由流量阀、质量流量控制器、自动阀执行器和电热电压调节器组成。该单元允许精确控制压力和气流，以实现所需的蚀刻剖面。这台机器能够蚀刻0.2至22.1 μ米的深度。此外，TOKYO ELECTRON TSP-30555SSS也可用于湿加工。它有一个原位高压湿式清洁工具，能够做出非常精确和高质量的图像。资产有压力、温度、时间、溶剂控制，以优化清洗过程。这允许根据应用程序优化蚀刻配置文件。TSP-30555SSS还改进了安全功能。它配备了一个自动安全模型，如果检测到蚀刻或湿法加工中的异常，则停止设备。它还配备了一个集成的水流率传感器，确保清洁过程顺利运行，符合安全准则。该系统还设有先进的排气装置，以减少蚀刻和湿法加工过程中释放的有害烟雾和颗粒。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON TSP-30555SSS是一种先进的蚀刻器/asher，其设计目的是通过多种材料基板实现高精度。它具有通过RIE工艺和精确湿法加工产生高质量图样和图像的能力。该机还改进了安全功能，以确保安全的蚀刻环境。