二手 TEL / TOKYO ELECTRON TSP-30555SSS #9352959 待售
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ID: 9352959
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
Etcher, 12"
Model: SCCM Shin
Main frame
(3) Chambers
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TSP-30555SSS是一种蚀刻器/asher，旨在为用户提供快速高效的晶圆阵列功能。它是一个单一的晶圆系统，具有相当大的加工面积，使它能够容纳大型晶圆基板，如2英寸、4英寸和6英寸晶圆。这款蚀刻器/asher装有RIE（反应性离子蚀刻）加工室，能够对晶圆基板表面的各种材料进行高精度蚀刻。它具有高精度和广泛工艺条件的干蚀刻能力，适合在晶片上产生细微的特征。TEL TSP-30555SSS有一个自动化的流程控制器，允许用户为流程周期预设多个流程选项。它还具有一个在蚀刻过程中控制腔室状况的界面和一个能够对压力、温度和工艺状态进行目视监测的诊断系统。此外，TOKYO ELECTRON TSP-30555SSS还配备了多项其他功能，以提高其性能。其中包括先进的自动调谐设备、多室/多堆栈设备以及控制基板温度以优化蚀刻结果的自动加热/冷却系统。除此之外，它还配备了超大型内聚物、OFE泵和高真空（HV）组件，所有这些都是为了在整个过程中保持高精度和可靠性而设计的。TSP-30555SSS还与各种蚀刻工艺高度兼容，如等离子体、离子束蚀刻和溅射蚀刻。它还能够同时执行单步和多步过程。循环时间很短，每个循环最多可处理六个晶圆的生产。总体而言,TEL/TOKYO ELECTRON TSP-30555SSS是一款出色的蚀刻器/asher,旨在为用户提供快速高效运行的高精度结果。其坚固的结构、自动化的过程控制器和众多的功能使其成为用于半导体和其他相关行业的各种材料蚀刻的理想选择。
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