二手 TEL / TOKYO ELECTRON TSP-3055D #9284538 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TSP-3055D 蚀刻/asher是为微电子、半导体晶圆和平板显示元件蚀刻而设计的精密微蚀刻设备。它是专门为各种需要高度精密的工艺而设计的，包括图桉形成、蚀刻、沉积、表面处理、平面化和沉积稳定。蚀刻器/asher是一个全自动系统,其最大腔室大小为495Si,工作温度范围为25°C-850°C,循环时间为1000-10000K周期内的30毫秒。温度可以精确地以100°C的增量调整，具有出色的稳定性和可重复性，循环参数也可以调整以满足不同的要求。该单元还有一个大的高分辨率显示屏，允许用户轻松控制进程参数。TEL TSP-3055D还配备了一系列强大的软件和硬件功能。该机使用Waferscanner和microscanner技术，允许对蚀刻和任何其他需要亚微米精度的工艺进行精确定位。该工具有一个Unimatic Front End应用程序,可以高效操作蚀刻器。还有用户选择的干蚀刻和湿蚀刻选项以及重新飞行蚀刻工艺控制功能。该资产具有高级功能，包括高精度流量控制、可编程电阻率控制和内置传感器包，能够获得极其精确的结果。该型号还配备了真空腔室压力控制功能，可主动监控腔室内的压力。此功能与其他严格的工艺一起,可实现极低故障率的高精度蚀刻结果。总体而言，TOKYO ELECTRON TSP-3055D 蚀刻器/Asher是一个极好的设备，为各种微电子应用提供了极好的精度和可重复性。它具有一系列先进的特性和能力，能够以最少的时间和精力进行精确的微处理操作。它提供的准确结果是可靠的,有助于降低成本和提高生产率。