二手 TEL / TOKYO ELECTRON TSP-3055DD #9252304 待售

ID: 9252304
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
Dielectric etcher, 12" 2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TSP-3055DD是为大型工业应用而设计的功能齐全的干蚀刻解决方桉。这款asher利用先进的等离子源和先进的气体输送子系统,快速准确地蚀刻多种材料,如硅、聚酰亚胺、金属合金和聚合物。它可以加工直径不超过6英寸的晶片,从而能够高效生产复杂的电子元件。TEL TSP-3055DD包含一个高级控制器,它允许以高精度和可重复性配置过程参数。它具有高效射频发电机和频率-敏捷功率控制,确保最大等离子体均匀性。其计算机控制的气体输送系统允许在基板上分配精确数量的蚀刻气体,从而实现高产加工。此外,TOKYO ELECTRON TSP-3055DD规模很大,占用的空间也很小。它由坚固的材料构成,可确保其耐用性,并且能够连续运行而无需频繁维护。包括多个流程监控系统,可实现直观、实时控制和用户友好的数据采集。TSP-3055DD旨在为用户提供最精确的蚀刻和蚀刻深度控制。强大的等离子体源和自动化过程控制器消除了不必要的可变性来源,并产生了最高质量的蚀刻产品。这种降低保证为客户带来最高水平的生产效率、成本效益和精确度。
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