二手 TEL / TOKYO ELECTRON TSP-3055DD #9252309 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON TSP-3055DD是一种先进的蚀刻器或asher，能够为半导体工艺提供高精度底物。它是来自TEL的单晶圆处理工具，设计用于生产处理器、内存和其他集成电路等半导体产品。TEL TSP-3055DD旨在提供高水平的均匀性和速度,使其适合各种生产需求。TOKYO ELECTRON TSP-3055DD的核心是一个高度精确的蚀刻头，能够实现其功能的高度均匀性。该蚀刻器配备了扩散流控制技术，提供高达每分钟20毫升的氮氢气体流速。其电极板经过微调，形状精细，可达到最佳蚀刻速率。这样可以实现每小时60个晶圆的高通量,从而实现半导体零件的高速生产。蚀刻头还配备了APS-3000定位系统，提供精确的工具对准和高水平的迭加精度。TSP-3055DD还配备了过程控制系统，这是准确交付基材过程的组成部分。根据加工基材的类型，自动调整蚀刻时间和气体流速等工艺参数，确保最高精度零件的生产。该系统还允许广泛使用蚀刻剂，增加了工具的多功能性。TEL/TOKYO ELECTRON TSP-3055DD还配备了一个高级通信模块，能够远程监控蚀刻器。这包括对流程参数进行远程监控,从而减少了对维护人员的需求。此外,通信模块可用于调整给定基板的蚀刻配方,帮助优化处理时间并最大程度地减少浪费。总之，TEL TSP-3055DD是一种高度精确、快速、多用途的蚀刻器或粉碎器，其设计符合现代半导体生产行业的需要。其特点，如扩散流控制技术、微调电极和先进的控制系统，使其成为生产高精度、大体积基板的理想工具。它的自动化功能和远程监控使该工具成为生产设置的绝佳选择,提高了生产效率,同时减少了维护开销。
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