二手 TEL / TOKYO ELECTRON TSP-3055DD #9252310 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TSP-3055DD是一款高性能的干蚀刻设备,在多种应用中为卓越可靠的性能而设计。该系统能在高密度、高重复性好的情况下蚀刻厚薄膜，产生优越的重复性和质量，非常适合中、大规模生产。该装置利用专有的盘状静电卡盘在加工过程中牢固地固定基板。这样可以确保基板和蚀刻头之间有足够的接口,从而有助于最大程度地减少加工误差。蚀刻头采用不锈钢制成，并配有聚四氟乙烯涂层，以提高耐磨性。它包含了多种在蚀刻的同时促进更高的重复性和提高质量的特性，如可完全调节的喷嘴、能量控制、可变功率激光器和正压室。所有这些特性有助于减少底物上可能存在的任何潜在污染物，有助于改善蚀刻效果。TEL TSP-3055DD机器的载荷令人印象深刻，为1000晶圆/小时，根据需求适合大规模生产。此外，自动电平控制功能补偿任何不规则的基板，导致均匀蚀刻过程。该工具还提供了激光标记功能，可以在蚀刻基板上应用各种标志或标志。这是一个易于使用和适应性强的功能,可用于自定义单个蚀刻项目。此外,质量控制器可以访问实时数据,以便能够执行质量检查和评估结果以获得最佳蚀刻过程。TOKYO ELECTRON TSP-3055DD是一种可靠的蚀刻机，适合多种应用，提供质量的结果具有可重复的性能和效率。