二手 TEL / TOKYO ELECTRON TSP-3055DD #9252311 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TSP-3055DD是TEL製造的高精度蚀刻器/asher。它被用作半导体或微电子器件制造的工具，是先进蚀刻或灰化技术的强大平台。TEL TSP-3055DD是利用电感耦合等离子体（ICP）和介电屏障放电（DBD）蚀刻模式的干蚀刻设备。ICP蚀刻模式用于以高选择性蚀刻小图桉，而DBD蚀刻模式则用于通过薄膜蚀刻。此外，该系统还配备了剂量管理单元，可确保较高的选择性和明确的蚀刻工艺。TOKYO ELECTRON TSP-3055DD最大晶圆尺寸为300 mm，最大工艺压力高达10 Pascal。它配备了一个100kHz 3MHz射频发生器，提供了广泛的频率范围，允许在不同深度和选择性蚀刻。此外，该机器还配有一个石英制造的等离子体反应堆，其功率最大为2kW，允许较高的基板到火炬的距离和均匀性。TSP-3055DD的自动化方桉旨在在过程控制中提供无与伦比的可重复性。Automation Manager （AM）软件包支持各种自定义参数调整和过程监控,提供对蚀刻时间、蚀刻压力、蚀刻速率、过度蚀刻和端点控制的精细控制。此外，该工具还配备了原位光谱资产，可以实时测量蚀刻结果。除了蚀刻功能外，TEL/TOKYO ELECTRON TSP-3055DD还有一个Combiner Option，它允许晶圆同时ashing。这种晶圆灰化技术在去除光致抗蚀剂方面极为有用，因为它利用了干燥蚀刻和等离子体汽化的结合。TEL TSP-3055DD提供了可靠、准确的蚀刻和灰化技术。其高精度蚀刻工艺和自动化控制模型提供了全新的光刻能力和灵活性，使其成为最苛刻应用的完美选择。