二手 TEL / TOKYO ELECTRON U2e-655II #293660132 待售

TEL/TOKYO ELECTRON U2e-655II是一种先进的蚀刻和灰化设备，用于先进的亚微米加工和纳米技术应用。此蚀刻器/asher利用多种晶片使用,可执行各种蚀刻和灰化任务。它的特点包括4或8个并行块、支持无损阵列系统、主动晶圆旋转以提高均匀性和精度、高吞吐量和低拥有成本。该U2e-665II利用了不同类型的蚀刻工艺，包括反应性离子蚀刻（RIE）和等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）。RIE允许蚀刻各种材料，包括硅、二氧化硅和氮化硅。PECVD用于将薄膜沉积在各种基板以及薄膜结构上。TEL U2e-655II还提供了脉冲蚀刻序列控制和清除系统，能够更好地控制表面污染，提高可重复性。TOKYO ELECTRON U2e-655II利用高速装载机臂提高了吞吐量，并利用尺寸识别单元精确准确地加载晶圆。该机器还通过使用多个腔室帮助降低拥有成本,这些腔室可以减少维护停机时间并提高刀具的生产率。此外，U2e-655II还具有防止粒子带电进入等离子体室的内部机械机制。这有助于减少污染并改善资产的整体性能。该模型还设计为易于使用，并具有有助于快速检测和解决错误的自我诊断模式。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON U2e-655II为纳米技术和亚微米加工需求提供了可靠且价格合理的蚀刻和灰化设备。它的高级功能有助于提高生产效率,同时降低拥有成本和提高精密处理的准确性。