二手 TEL / TOKYO ELECTRON U2E-855SS-SW #9192013 待售

TEL/TOKYO ELECTRON U2E-855SS-SW是一种蚀刻/灰分工艺设备,设计用于各种工艺步骤的高通量性能。它有855平方毫米的大活动面积，能够处理包括硅、熔融硅和玻璃在内的多种基板。该系统有一个集成的流程室，由频率控制的射频发电机供电，功率高达2000瓦。该单元还具有一个精确的过程控制软件，允许完全可编程的过程条件，包括蚀刻速率，轮廓控制，温度控制等等。TEL U2E-855SS-SW是一台具有低容量负载锁的全自动机器。它还具有强大的安全工具，可确保在任何工艺条件下采取所有安全措施。该资产名义上每小时最多可容纳200个晶圆,并具有8 x 10英寸的安装冰球,可快速加载许多不同的基材尺寸。为了确保基板温度的稳定性，该模型有一个集成的微泵模块，可以确保更一致的结果。健壮的软件包还具有高级序列管理器,可简化配方创建和流程参数设置。此外，设备还有一个用于数据收集、配方和协议的集成控制器，从头到尾控制整个系统。最后,该设备具有远程诊断和维护功能,可以快速轻松地进行故障排除。总体而言,TOKYO ELECTRON U2E-855SS-SW是一款令人印象深刻的蚀刻/灰烬机器,提供高性能和精确控制。它专为各种工艺步骤而设计,是寻求高效可靠的蚀刻/灰化解决方桉的制造商的绝佳选择。