二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity 2 DRM #9162835 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2 DRM是一种通用蚀刻器，用于所有品种的干蚀刻应用。它有一个独特的直接电阻加热（DRH）系统，使低压高压操作与精确的过程控制。该蚀刻器工艺范围广，沉积深度在25nm-6um之间，蚀刻深度在10-200um之间。它具有反应性离子蚀刻（RIE）和等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）技术。TEL Unity 2 DRM具有集成的自动化功能,能够精确控制流程。其中包括用于晶圆制备和处理的计算机控制系统，以及基于工艺参数精确提供正确功率和电压的自动射频发生器。它内置的自动校准有助于确保一致的过程可重复性。这些功能不仅可以节省时间，而且可以大大降低控制过程中出现人为错误的风险。蚀刻器还有一个内置的模块化加工室，最多可支撑四种加工气体，带有压板和电驱动盖以及最多四个阳极盒。该室还设有一个专利的受控离子能源，有助于保持工艺室内的低压条件，进一步确保蚀刻的准确性和可重复性。该蚀刻器具有很高的可靠性和效率，能够提供最复杂的蚀刻，具有很高的可重复性和产量。它具有良好的热稳定性，低交叉污染，其符合人体工程学的设计使得它易于使用。总之，TOKYO ELECTRON UNITY 2 DRM是高度通用、功能包装、可靠的蚀刻器，适合广泛的干式蚀刻应用。它具有自动化功能，以确保精度和可重复性，它的双级工艺室提供灵活性和可靠性。它是任何干蚀刻作业的理想工具，无论是复杂图样的精密蚀刻还是标准应用蚀刻。