二手 TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD #293774796 待售

ID: 293774796
晶圆大小: 8"
优质的: 2000
Oxide etcher, 8" YASKAWA Robot Process: Oxide CIM: GEM Handler Chiller (2) LPT (4) Dry pumps AC and RF Rack 2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD是一种用于半导体製造业的蚀刻机/asher机。这台机器的设计目的是在半导体器件的表面上创建复杂的设计和图桉。它利用干蚀刻、反应性离子蚀刻和等离子体蚀刻相结合,将材料蚀刻或"蚀刻"成精密和精确的复杂图样。它还能够对半导体器件的表面进行清洁和粉刷,从而提高了表面粗糙度和最优的电气特性。该机由中央控制单元控制,便于输入蚀刻和灰化操作的指令。利用8.6毫秒/秒的设计速度,此蚀刻器/asher可以快速高效地执行多个操作。而且,组件上的合金也会在必要时加热熔化,以产生柔软或可塑的蚀刻细节。TEL UNITY 2E 85 DD 蚀刻器/asher采用频率射频传输来传递蚀刻和灰化操作中使用的功率。这类蚀刻器/asher系统使用多电池等离子体腔,带有多个射频发生器,传递高频电场。这有助于精确蚀刻半导体材料中的灰分和灰分区域。它可以蚀刻和粉刷多种材料,包括元素金属、硅基基板、化合物、多晶材料等。这台机器最大的优点之一就是能够精确蚀刻具有更小、更精细线条和细节图桉的元件。它还具有卓越的热蚀刻和软蚀刻温度控制能力。它还具有比大多数其他蚀刻器/asher机器更好的清洁周期,这意味着它在进行蚀刻和灰化操作之前非常有效地清洁和准备表面。TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD 蚀刻器/asher是一种可靠、精确的机器,非常适合半导体器件中使用的基板的精确蚀刻和粉刷。凭借其先进的功能和精确的控制功能,它是以及时且经济高效的方式创建错综复杂的模式和功能的理想机器。
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