二手 TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 SCCM #9293825 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 SCCM是一种使用选择性化学气相沉积（SCVD）的蚀刻器或asher，能够在含硅晶片上蚀刻高长宽比结构。这个蚀刻器/asher利用等离子体来蚀刻晶片，并且可以蚀刻长宽比高达5：1的特征。蚀刻器能够蚀刻广泛的晶圆基板，包括硅、聚硅、二氧化硅、氮化硅、铜等。除了SCVD蚀刻，TEL UNITY 2E 85 SCCM还有额外的蚀刻工艺，包括反应性离子蚀刻（RIE）和离子蚀刻。该蚀刻器利用高长宽比离子植入器，在半导体层内蚀刻高长宽比结构。除这些蚀刻工艺外，蚀刻器还可用于晶圆表面清洁。TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 SCCM还有一个用于优化蚀刻过程的二维过程控制器以及一个有助于监测和分析蚀刻结果的数字数据记录系统。蚀刻器直观的用户界面使得设置、操作和维护变得容易。此外,蚀刻器符合所有ISO标准,非常适合在制造环境中使用。该蚀刻器还具有用于精确控制蚀刻反应堆的切换质量流控制器，以及有助于实现蚀刻均匀性的高级压力控制器。此外,UNITY 2E 85 SCCM中强大的电气元件提供了对蚀刻过程的精确控制,而先进的传热系统有助于将蚀刻室和晶片基板保持在一致的温度。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 SCCM是一款先进的蚀刻器/asher，能够在广泛的基板上蚀刻高长宽比结构，同时达到半导体行业的最高标准。其先进的蚀刻工艺、数字数据记录系统、精确控制组件和直观的用户界面使其成为制造环境中蚀刻半导体晶片的理想工具。