二手 TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DD #9145475 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DD是一款高精度、高通量的工业应用蚀刻器/asher。其设计精度高、寿命长、可靠性高，适用于半导体和MEMS/NEMS行业。TEL UNITY 2E 855DD是一种桥式平面蚀刻器/asher。它装有专门的高电流、高精度离子源，由磁控管和多管电弧的组合源组成，用于蚀刻和灰化。TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DD中包含的专有电子设备可提供高达5 GHz的射频工作频率,并具有允许短脉冲长度的脉冲功能。这对于确保非常准确和可重复的蚀刻功能非常理想。该装置在宽幅腔室内操作，最大腔室开口350毫米，最大操作压力5帕，提供一系列气体入口和出口，以及提前固定解决方桉，以确保工艺要求的最佳匹配。该单元提供了广泛的可控参数，包括；压力、温度、蚀刻速率和蚀刻均匀性。TEL UNITY 2E 855 DD中的各项功能结合在一起,可实现高度灵活和可重复的过程控制。除了蚀刻能力外，TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2 E 855 DD也以其先进的等离子体技术提供了灰化能力。该装置的用途包括用于制造微电子器件的金属和电介质蚀刻，以及在半导体基板上的高通量蚀刻和电阻灰化。它配备了一系列安全功能，包括过热防护和压力互锁，以确保设备的安全和安保。总体而言,TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855DD是一种先进的蚀刻器/灰化器,能够实现非常精确的蚀刻和灰化过程,并具有高度可重复的过程控制。它具有广泛的特点和先进的技术解决方桉，可用于各种工业过程，如制造微电子器件和在半导体基板上高通量蚀刻抗蚀剂。