二手 TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DD #9145476 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DD是一种成熟的干蚀刻设备，设计用于高级器件的高精度蚀刻和新工艺的开发。它具有广泛的有效功能，能够对金属、陶瓷和其他材料的薄层进行精确的蚀刻。该系统集成了DIST-X和DIISET两个强大的蚀刻源，提供快速稳定的反应性离子蚀刻。此外,它的多等离子体源（MPS）功能有助于改善基板上的均匀性和均匀功率分布,从而确保各种基板上细腻薄层的出色蚀刻质量。TEL UNITY 2E 855DD利用一系列先进技术提供精确蚀刻。该装置使用先进的阻抗机器，以确保可靠的蚀刻过程和防止电弧。此外,该工具还具有光电控制功能,可实现最佳功率水平。先进的源功率控制技术在基板上提供稳定的高度均匀的功率。该资产还包括多步处理和多渠道处理,可在大型基板上对结构化层进行精密蚀刻。TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DD还有一个低压的锁载室，允许在交换基板时维持负载，并允许更快的处理。该模型包括一个装有感应耦合等离子体（ICP）源的处理模块，具有一系列电源输出，以确保可重复和可靠的蚀刻。该设备还配备了先进的涡轮泵控制系统，以有效地维持低压蚀刻室条件。此外，TEL UNITY 2E 855 DD设计方便用户，以便进行高效和有效的蚀刻。用户友好的多语言用户界面使操作员能够快速、轻松、准确地编程和监控蚀刻过程。该单元还包括一台晶圆映射机，带有实时的蚀刻配方反馈，用于监控蚀刻过程。蚀刻室可以很容易地进入进行定期维护。总体而言,UNITY 2E 855 DD是一种可靠且高精度的蚀刻工具,适用于各种应用。它结合了高效和先进的技术来提供精确蚀刻的组件。低压锁载室和先进的电源控制确保了重复可靠的蚀刻过程。此外,该资产还具有直观的多语言界面,方便用户使用,可轻松准确地编程和监控蚀刻配方。