二手 TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DD #9285006 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DD是一款最先进的蚀刻器/asher，旨在提供高性能的生产级结果。该设备用于基材成形和堆迭，以及灰泥和蚀刻功能。蚀刻器/asher是一个两机架系统,包括主蚀刻/灰分机架和离线样品灰分/蚀刻机架。蚀刻/灰化机架采用高分辨率的直接驱动狭缝阀技术,可确保精确的蚀刻/灰化控制和精度,同时保持最佳的处理环境。该单元还包括一个大功率多轴旋转晶片自旋模块，允许高速均匀和精确的基板几何映射。该机配备了高性能的气体面板工具，为蚀刻和灰化机构提供双气源。该资产具有智能气体选择器和再生气体净化模块，可用于优化气体流量和保持适当的流量调节器。此外，高纯度源气体通过位于中心的气体输送模型和定制的气体歧管输送，以确保更高的一致性和性能结果。设备配备标准尺寸的4 "x 8"静电石英管，提供标准蚀刻/灰烬平台。该系统还具有一个定制的匹配腔室,该腔室可同步供气,以实现均匀一致的过程,并具有真空密封腔室和广谱感知器线圈,以实现出色的温度稳定性。该装置还可容纳从Ar、CO、O2到SF6、CH4、NF3和N2O等先进化学物质的各种加工气体。此外，通过同步压力机和自动化过程控制工具实现高精度的过程监控。总体而言,TEL UNITY 2E 855DD是一种高级蚀刻器/asher资产,可提供高性能和生产级结果。该模型具有卓越的再循环气体控制、高分辨率狭缝阀技术以及多轴旋转晶片自旋模块。此外，还设计了智能气体选择器和再生气体净化系统，以保持反应性和一致的过程稳定性。该设备具有定制的匹配腔室和广谱感应线圈，能够实现卓越的温度控制和高精度的工艺监控。