二手 TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DD #9286043 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DD是一种先进的蚀刻器和asher（加工工具），用于化学机械平面化（CMP）制造应用。这种生产过程工具用于蚀刻、去除、沉积和清洁用于制造半导体晶片、PCB板和其他电子元件的各种材料。TEL UNITY 2E 855DD利用化学反应等离子体蚀刻或清洁产品和组件。这一过程使激光能够蒸发和蚀刻掉基材表面的材料。它还具有50 kHz、1.3 kW的射频电源，用于产生干净、一致、均匀的蚀刻表面。机器还利用压力和温度水平来控制基材的蚀刻速率。TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DD还具有多种气体设置，可根据工艺要求进行调整。常见的製程气体包括氙气、氧气、氮气和氟气。这些气体溷合物用于促进工艺的蚀刻速率和均匀性。该工具还具有高度精确的石英石英热敏电阻实用程序，用于测量蚀刻室中的温度并将其保持在所需的蚀刻和清洁范围内。UNITY 2E 855 DD还具有触摸屏显示控制系统,可轻松访问与过程相关的信息,如实时蚀刻速率、气体设置、温度、腔室压力等。它还允许用户根据流程的需要设置蚀刻速率，必要时进行任何必要的调整。所有这些选项都能实现精确和一致的结果。此外，UNITY 2E 855DD还配备了一个12英寸大的垂直锁室和盖，有助于最大限度地减少蚀刻过程中的污染影响。它还具有集成的安全系统,可监控和维护所有过程参数,如电源、气流、真空、温度和操作过程中的压力,从而为操作员提供安心。UNITY 2E 855 DD是一款先进的蚀刻器和asher工具，旨在在CMP制造应用中提供精确、统一、一致的蚀刻和清洁工艺。该工艺工具具有多种气体设置、温度和压力控制、监控和集成安全系统,旨在实现易用性和可靠性能。