二手 TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DD #9290492 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DD 蚀刻器/asher是为半导体封装等先进应用而设计的先进化学加工工具。该产品基于TEL真空腐蚀修复（VCR）技术.蚀刻器/灰化器是一个单室系统，它提供专用的真空源，允许蚀刻和灰化过程在同一腔室中进行。与传统的多腔室系统相比，这可以在紧凑的外形中实现更好的工艺控制和低污染。蚀刻器/灰化器具有高能、微波供电的离子源，可以进行高效的离子轰击，从而实现优越的工艺控制和对多种材料的精确蚀刻。它还可以通过其集成的氧气注入系统作为一种洗手，以其低浓度氧气控制协议（OCP）的技术优势为零件提供优越的清洁。蚀刻器/asher还具有其他功能,可进一步提高蚀刻和灰化精度及灵活性。其中包括变频电源、改进工艺控制的先进喷嘴设计、改进工艺控制的专利DCMC（扩散冷却和微波连接）技术、多区气流调节系统以及一系列工艺控制的喷嘴尖端。蚀刻/ashers的紧凑设计也为设备增加了可靠性和灵活性，允许使用面板、基板和晶圆等多种不同格式。此功能还提供工厂自动化,因为它与标准自动化平台兼容,以及由于用户友好的功能和自动化功能而提高了安全性。TEL UNITY 2E 855DD 蚀刻器/asher是一种先进的蚀刻/ashers解决方桉,与传统的多室系统相比,它具有卓越的灵活性、过程控制和可靠性。其微波供电的离子源、变频电源和先进的喷嘴设计使其成为任何半导体封装和蚀刻/灰烬应用的理想选择。由于其占地面积小、安全功能改进以及工厂自动化兼容性,它也是用户的一个有吸引力的选项。