二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity 2E 855 DI #9285005 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DI是一款用于半导体行业的高性能蚀刻设备。该系统非常适合在包括硅、氧化硅、氮化硅和金属在内的多种材料上蚀刻高精度结构。该装置能够产生10至1000 nm的特征尺寸,可用于干式和湿式蚀刻。机器由两个主要部件组成；蚀刻室和电源。蚀刻室为蚀刻提供了高真空环境，为蚀刻材料提供了保护气氛。电源由一个高频发电机和一个功率控制器组成，产生一个交替的电场来激活蚀刻过程。电能反射回蚀刻室，用来驱动反应物种向工件方向。该工具有一个工艺气体入口，能够处理各种气体，包括CF4、CHF3和ArCl。这些气体用于在蚀刻室中形成各种化学物质。腔室配有搅拌资产，在腔室内循环过程气体和高能离子，以确保整个工件均匀蚀刻分布。最重要的是，TEL Unity 2E 855 DI精确度高，可精确控制。数值控制模型能够改变电参数，如频率和电流水平，以及调节和维持蚀刻速率。此外，它还能够精确控制压力、温度、气流等蚀刻工艺参数。综上所述，TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DI是一款先进的高性能蚀刻器/asher，用于微电子行业内的精密微结构。该设备能够精确控制参数，用于整个工件的均匀蚀刻分布和均匀蚀刻成分。产生的交替电场激活蚀刻过程，蚀刻速率得到精确控制，实现了高精度的微结构。