二手 TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 SS #293657483 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 SS是一款先进的、超稳定的蚀刻器/asher,旨在在工业蚀刻和灰化过程中达到精确的效果。该设备结合了先进的可移动蚀刻模块,增强基板温度和均匀性控制,以确保最佳性能。TEL UNITY 2E 855 SS具有多种处理功能,使其能够以最大的吞吐量容纳您的蚀刻和灰化应用程序。这款蚀刻器具有高质量的石英管簇设计,具有卓越的温度均匀性和最小的晶圆加热能力,可同时进行蚀刻和灰化。它还具有2杆强制对流支撑系统,能够实现最高的单位效率和出色的温度控制。TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 SS拥有一台新开发的以网络为中心的控制机器,使客户端能够从远程计算机监控所有进程。它还包括具有可调阀的精密压力控制器,允许操作员设置最佳压力范围以提高吞吐量。此外,该工具还具有直观的控件,可让操作员快速轻松地输入参数。它具有简化设置过程的高级图形用户界面(GUI)。UNITY 2E 855 SS旨在通过提高吞吐量和质量结果帮助工艺工程师提高产量和降低成本。它还提高了安全性,得益于它的洁净室兼容设计、大封闭式腔室和智能接入端口。该资产还具有先进的过滤模型,以及集成的泄漏检测和BEF补偿。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 SS在半导体工业和其他工业应用中提供精湛的蚀刻、灰化和沉积工艺质量。它结合了先进的蚀刻模块、温度均匀性控制和直观的控制,使其成为在蚀刻和灰化过程中获得最高精度和精确度的尖端工具。
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