二手 TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E DRM #9145467 待售

TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E DRM
ID: 9145467
晶圆大小: 8"
Dry etcher, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E DRM是一种高度先进的蚀刻器/asher,用于半导体基板上的蚀刻和ashing电路。它采用了比市场上同类机器更高效、更精确的新设计。TEL UNITY 2 E DRM具有双轴驱动设备,具有改进的工作台,可精确对准和控制运动。这可以通过合并两个线性幻灯片和一个旋转表来实现。此功能可提高精度和可重复性,这是蚀刻和灰化小图桉和特征所必需的。还采用了先进的伺服系统来改善操作员的控制,并确保正确有效地执行作业。TOKYO ELECTRON UNITY 2E: DRM还包括各种功能,以最大限度地提高生产力和质量。它配备了一个专利阴影面罩单元,允许快速蚀刻/灰循环变化和易于清理。内置反馈机监视蚀刻参数,必要时自动调整设置。此外,TEL UNITY 2E DRM利用自动热补偿功能帮助在整个过程中维护已建立的蚀刻参数。TEL UNITY 2 E: DRM也使用高精度晶圆对准工具。该资产使用激光器和紫外线精确对准晶片进行蚀刻和灰化。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2 E: DRM还能够处理具有复杂图样的基板,例如具有BGA和电源芯片的基板。UNITY 2E DRM是一款高度先进的蚀刻器/asher,专为实现最高的精度和效率而设计。其高度先进的双轴驱动模型、反馈设备和晶圆对准系统可实现精确、可重复的蚀刻和灰度处理,而操作员的犹豫很小。对于那些需要可靠、精确的基材蚀刻和灰化机器的人来说,这是一个理想的选择。
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