二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity 855DD #293594402 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 855DD是一款针对从SiO2到聚硅等多种材料而设计的蚀刻器/asher设备。它是一种感应耦合等离子体（ICP）蚀刻系统，允许各种基材精确蚀刻。它还配备了自我清洁功能，以保持较高的操作效率和最小的停机时间。TEL Unity 855DD配备了多种特性，可以与石英、玻璃和金属等基材配合使用。其加工能力包括氧化物层蚀刻、多硅层、氮化硅层和折射率。它还能够使用介电、聚酰亚胺和低/高k薄膜。这种蚀刻机也被用于对基板进行高精度的图样和剖析。TOKYO ELECTRON UNITY 855DD配备了三频发生器和频率匹配模式，可以显着降低ICP等离子体源的频率反射。内置频率调谐器还有助于单元实现精确的ICP等离子体源匹配。它还允许机器加快或减慢蚀刻速率。可用的多种调整选项根据要求优化了不同材料的蚀刻工艺。Unity 855DD还具有智能控制工具,可帮助优化过程。这有助于确保蚀刻过程以尽可能高的精度进行。智能控制资产有助于减少缺陷的可能性，并能够检测和补偿蚀刻中的任何错误。该模型还使用户能够回忆以前的作业参数，从而在设置新一批蚀刻时允许快速高效的操作。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 855DD是市场上最先进的蚀刻系统之一，允许对多种材料进行高效、精确的蚀刻。它的多功能性使其成为众多制造过程的有用工具。利用设备的各种优化和控制功能,可以使用TEL Unity 855DD在任何蚀刻作业中获得最佳效果。