二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity 855DD #9051321 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 855DD是由TEL （TOKYO ELECTRON） Ltd开发的高规格等离子体蚀刻器/aher。这种蚀刻器/asher具有对电路板、SiGe基板、晶片和纳米材料提供高精度等离子体蚀刻的能力。它还能够以极高的精度对相同的材料进行等离子体粉刷。该855DD采用高速脉冲电源设计，具有较高的工作负载能力，最大限度地减少电极磨损。它具有独立的双区域等离子体控制，允许蚀刻和灰化加工基板。双区域控制可实现更高的蚀刻均匀性和过程重复性。该855DD还配备了长寿命的材料溷合管，确保在蚀刻和灰化过程周期中基板的均匀冷却。它们为用户提供了他们需要做的蚀刻和灰化方面的卓越灵活性。该855DD设有一个48英寸的观景室，其中包含两个独立的蚀刻和灰化系统，还有一个整体水冷系统的电极。该设备可以在操作过程中自动检测电极温度，以限制热应力，从而降低缺陷率，提高收率。855DD可以同时处理基板的顶部和底部表面。这样可以提高吞吐量,使蚀刻和灰化过程更加一致和高效。该855DD利用高质量的先进工艺控制技术，使用户能够准确监控蚀刻和灰化工艺。它还为用户提供了丰富的过程优化设置,使他们能够微调蚀刻和灰化过程,以实现正在执行的任何任务的最佳结果。总体而言,该855DD是一款高级蚀刻器/asher,旨在为用户提供卓越的蚀刻和灰化功能。它具有高精度的等离子体控制、高工艺吞吐量和先进的工艺控制功能，为用户提供了一个非常高精度的易于使用的蚀刻和灰化解决方桉。