二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity 85DD/W1 #293585754 待售

TEL Unity 85DD/W1是为超高吞吐量应用程序而设计的蚀刻器/asher。它提供了高级功能,增加了生产吞吐量和高级晶圆级工艺控制。Unity 85DD/W1配备了强大的等离子体源、低压干气室、先进的晶圆对准系统和精细的可编程数字逻辑，用于精确控制各个工艺步骤。Unity 85DD/W1的源选项是RF和DC。可用于蚀刻多种材料，包括导体、电介质和有机物。射频源在600 kHz至200 MHz的频率范围内运行，可用于清洁、剥离层，并在金属等硬质材料中实现更深的蚀刻。直流光源在低频（最高5kHz）下运行，可用于蚀刻较软的材料，如有机物和蚀刻微米尺度特征。Unity 85DD/W1提供了一个低压干室，能够在将蚀刻过程气体引入腔室的同时将腔室压力维持在>0.25 torr。腔室压力自动监控；这样可以实现精确的过程重复性和控制以及更精确的晶圆对齐。Unity 85DD/W1的核心是大型数字逻辑,可根据用户需求灵活地编程自定义蚀刻和剥离序列。数字逻辑还提供了快速、出色的数据处理功能,可以即时进行精确的性能调整。Unity 85DD/W1还具有先进的晶圆对准系统。晶片首先加载到晶片盒式磁带上，然后放置在高精度手推车上，手推车进入蚀刻室。然后，机器人手臂移动到手推车的位置，在蚀刻前精确对准晶片。Unity 85DD/W1是一款高级蚀刻器/asher,具有令人印象深刻的一系列特性和功能。其先进的等离子体源、低压干室、数字逻辑和晶圆对准系统使其能够实现精密控制的超高通量过程。Unity 85DD/W1是高级应用程序的首选蚀刻器/分离器。