二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity 85DD/W1 #9383235 待售

TEL Unity 85DD/W1是一种蚀刻器/asher，或半导体制造中使用的一种等离子体蚀刻器。它旨在创建具有高精度和重复性的蚀刻、刻录和轮廓特征,从而即使使用复杂的图桉也能实现一致和准确的轮廓创建。Unity 85DD/W1使用称为定向能量沉积的过程,在各种需要的蚀刻、燃烧和剖面图区域中快速准确地去除材料。该单元配有12英寸晶圆传输系统和气体测序系统（GSS），以最佳控制每个芯片的工艺条件，实现高保真定向能量沉积。它提供了从室温到500 °C的温度控制和各种蚀刻气体，允许快速蚀刻和燃烧时间，即使是复杂的模式。为确保最精确的蚀刻和燃烧，Unity 85DD/W1还提供了一种原位光谱仪，用于测量蚀刻剂浓度和监测蚀刻过程。光谱仪还可确保尽可能实现最一致的流程,并可根据客户的要求进行定制（如果需要）。TOKYO ELECTRON UNITY 85DD/W1还设有自动沉积控制装置（ADCU）,该装置自动调整蚀刻或燃烧参数,以最节能的方法实现可靠的沉积。ADCU利用许多传感器和反馈回路来保持稳定的温度和最佳的沉积能量。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 85DD/W1是一款极其精确可靠的蚀刻器/asher,专为满足要求苛刻的半导体制造需求而设计。凭借其强大的定向能量沉积系统、原位光谱仪和自动沉积控制单元，该单元可提供高精度的高质量蚀刻和燃烧效果。这使得它成为创建最复杂和最复杂的模式的绝佳选择。