二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity 85DD #293827845 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 85DD是一种自动化和可编程的蚀刻器/asher，用于制造和生产半导体晶片。本机由负载锁室、静电卡盘、反应性离子蚀刻（RIE）工艺和物理气相沉积（PVD）系统四个基本部件组成。锁载室是一个封闭的环境，具有超高真空条件，允许底物的装卸。内部温度是可变的，因此可以执行不同的应用，并且采用一个接一个的方法可以装卸蚀刻气体。静电卡盘允许晶片在蚀刻/灰化过程中保持在适当位置。RIE工艺用于蚀刻,物理气相沉积（PVD）用于灰化工艺。RIE过程涉及在基板和卡盘之间施加电压,从而产生电场。该电场允许产生等离子体放电，从而取代围绕基板的沉积材料。PVD过程涉及通过轰击具有高能源的气体分子来创建一层材料。这种能源可以是高频功率或离子束能量，例如在TEL Unity 85DD asher/etcher的情况下的氙离子。由于TOKYO ELECTRON UNITY 85 DD的独特能力，製程时间可以利用自动硬体和进阶软体进行优化。该设备的接口包括一个电容触摸面板和一个传感器，用于监控应用过程的各个阶段。根据具体应用，这种设备可以处理高达8英寸的晶片尺寸，并具有优化蚀刻均匀性、蚀刻速率、加工时间和颗粒控制以提高产量的功能。总体而言，TEL UNITY 85 DD是为制造和生产半导体晶片而设计的先进蚀刻器/asher。该设备具有直观的用户界面、自动化硬件和集成软件,从而可以优化过程时间。它可以处理最大8英寸的基材尺寸，以及蚀刻均匀性、蚀刻速率、加工时间和颗粒控制等特性，以提高特定应用的产量。