二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity 85DI #9092959 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Unity 85DI是一款专为卓越精度、可靠性和性能而设计的专用蚀刻/灰化设备。它是光掩模制造的高端工具，特别是在半导体和MEMS行业。系统提供了一系列功能,允许用户精确控制其蚀刻图桉的宽度、深度和均匀性。TEL Unity 85DI采用体积制造技术（VMT）来精确控制每个曝光和蚀刻步骤。这包括最大化均匀性和精确解析精细模式。可以使用一系列曝光工具（如SxV掩码对准器和E-beam writer）来创建光掩码。这个单元被设计成在一个步骤中精确地把图桉变成一个薄膜基板。TOKYO ELECTRON UNITY 85DI支持多种蚀刻技术，包括等离子体亚灰烬、等离子体灰烬和湿工艺处理器。例如,Plasma Sub-Ashers提供了先进的等离子体蚀刻和干蚀刻、干灰化和干剥离功能。用户会发现这些工具对于创建小型接触模式非常有用,尤其是对于诸如MEMS制造等应用程序。Unity 85DI还提供了一套全面的安全和环境功能。其中包括多种化学密封系统，包括流体过滤机和化学废物处理工具。此外，该工具还配备了手套污染控制（GCC），以帮助降低晶圆间交叉污染的风险。此外，该资产的设计是为了方便用户和高效。它带有直观的GUI,同时还提供操作员在线感测和过程监控功能。这允许用户远程观察整个蚀刻和灰化过程。该模型还提供各种高端自动化选项,以帮助管理和优化生产流程。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 85DI是光掩模制造和MEMS制造的理想工具,因为它具有卓越的精度、可靠性和性能。它还为用户提供了出色的安全功能和优化生产流程的能力。总体而言,TEL Unity 85DI是任何制造实验室的重要补充。